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磁控溅射镀膜原理
磁控溅射镀膜是一种利用磁场控制电子运动轨迹,从而提高溅射效率的薄膜制备技术。其基本原理如下: 1. 真空环境 :磁控溅射镀膜在真空环境中进行,以减少气...
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